品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,印刷包裝,電氣 |
快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點(diǎn):
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA;
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用;
- 加熱區(qū)域尺寸:300毫米 X 300毫米;
- 廣泛用于太陽(yáng)能電池片快速退火工藝,如156mm x 156mm電池片,300mm x 300mm電池片等;
儀器特點(diǎn):
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA;
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用;
- 加熱區(qū)域尺寸:300毫米 X 300毫米;
- 廣泛用于太陽(yáng)能電池片快速退火工藝,如156mm x 156mm電池片,300mm x 300mm電池片等;